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    電子級EW-I/II/III/IV超純水系統

    發布時間:2016/6/23

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    電子級超純水系統概述

    當今半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業、大規模、超大規模集成電路需要大量的純水、超純水清洗成品、半成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質的要求也越高。目前我國電子工業部把電子級超純水為四個等級,分別為EW-I級≥18MΩ·cm,全硅≤2ug/L、EW-II級≥15MΩ·cm,全硅≤10ug/L,EW-III級≥12MΩ·cm,全硅≤50ug/L、EW級≥0.5MΩ·cm,全硅≤100ug/L 以區分不同的電子級超純水水質。其中對于超純水關鍵的指標如:電導率(電阻率)、總硅、PH值、顆粒度、微生物等均由不同的要求。因此線路板、電路板使用純水、超純水因為本身工藝流程的不同對超純水制造的工藝也不同。


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    1、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線 器→拋光混床→精密過濾器→用水點(≥18MΩ.CM)

    2、預處理系統→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線 器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(≥18MΩ.CM)

    3、預處理系統→一級反滲透→加藥機(PH調節)→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線 器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(≥17MΩ.CM)

    4、預處理系統→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線 器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水點(≥15MΩ.CM)

    5、預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線 器→精密過濾器→用水點 (≥15MΩ.CM)

    電子半導體超純水系統通常直接接入國家自來水標準的水為源水,通常有多介質過濾器,活性炭過濾器,精密過濾器等構成預處理系統,另有RO反滲透主機系統,離子交換混床(EDI電除鹽系統)系統等構成主要設備系統。系統水箱設有液位控制系統、水泵設有高低壓壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用模塊化組合PLC,及通信遠程輸送至中控室上位機,實現現場就地和集中控制兩種操作方式,降低了人工的操作復雜度和維護工作量等,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統一的方法,或者公司可按照客戶對于水質的要求進行特殊定制,既能 用水水質達標,同時降低了所需成本,使該設備與其他同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。


    電子級超純水系統用水標準:

    符合美國ASTM純水水質標準、電子工業部高純水水質試行標準、美國半導體工業用純水指標、日本集成電路水質標準、國內外大規模集成電路水質標準



    電子級超純水系統選型表:

     

    產水量

    L/H)

    電壓/功率范圍

    V / Kw)

    設備主機尺寸

    (L*W*H mm)

    水箱

    產水水質

    ZYUP-DH/E-250L

    250

    380 / 1.95

    2000*800*1600

    氮封水箱

    符合國家電子級用水標準

    ZYUP-DH/E-500L

    500

    380 / 2.05

    2000*800*1600

    氮封水箱

    ZYUP-DH/E-1000L

    1000

    380 / 2.20

    2000*800*1600

    氮封水箱

    ZYUP-DH/E-1500L

    1500

    380 / 2.80

    2500*1000*1700

    氮封水箱

    ZYUP-DH/E-2000L

    2000

    380 / 3.96

    2500*1000*1700

    氮封水箱

    ZYUP-DH/E-3000L

    3000

    380 / 6.65

    3000*1200*1800

    氮封水箱

    ZYUP-DH/E-4000L

    4000

    380 / 6.80

    3000*1200*1800

    氮封水箱

    ZYUP-DH/E-5000L

    5000

    380 /11.05

    3500*1300*2000

    氮封水箱

    注:1、設備尺寸僅供參考,可根據用戶需求進行量身定做;

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    1、電解電容器生產鋁箔及工作件的清洗

    2、電子管生產、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液

    3、顯像管和陰極射線管生產、配料用純水

    4、黑白顯像管熒光屏生產、玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗用純水

    5、液晶顯示器的生產、屏面需用純水清洗和用純水配液

    6、晶體管生產中主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制

    7、集成電路生產中高純水清洗硅片

    8、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路

    9、LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏

    10、高品質顯像管、螢光粉生產

    11、半導體材料、晶元材料生產、加工、清洗

    12、超純材料和超純化學試劑、超純化工材料

    我們的工廠2
    我們的工廠200k
    詳情頁--我們的團隊2我們的團隊卓水越200k
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